銦、氧化銦錫及銦化合物暴露危害預防

主要用途

氧化銦錫（Indium Tin Oxide, ITO，或者摻錫氧化銦）是一種氧化銦（IIIA族，In2O3）和氧化錫（IVA族，SnO2）的混合物，通常質量比為90% In2O3和10% SnO2。它在薄膜狀時，為透明無色。在粉或塊狀態時，它呈黃色。ITO主要用于制作液晶顯示器、平板顯示器、電漿顯示器、觸摸式顯示器、電子紙等應用、有機發光二極管、以及太陽能電池、和抗靜電鍍膜還有EMI屏蔽的透明電傳導鍍膜。氧化銦錫薄膜通常是用電子束蒸發、物理氣相沉積、或者真空濺鍍的方法沉積到表面。銦的其他用途包括：車輛及飛機軸承、低溫合金和銲料、核子反應器控制棒。

氧化銦錫粉塵危害

在日本有兩個因吸入氧化銦錫導致肺部疾病（1998及2002年，27歲及30歲男性）案例被報導，這兩個案例皆發生在同一家金屬處理工廠從事濕式表面研磨作業，此工廠生產制造薄膜半導體液晶顯示器（TFT-LCD）所需之氧化銦錫濺鍍靶（sputtering target），處理作業包括：混合氧化銦粉末和氧化錫粉末、粉碎、壓鑄、燒結、表面研磨、切割，其中粉碎、表面研磨、切割作業在濕式系統中進行（如圖1-3）。

圖1 密閉濕式表面研磨

圖2 密閉濕式切割機臺

圖3 密閉濕式切割

這兩個案例皆因干咳、呼吸困難始就醫，經系列診斷（血液、胸部計算機斷層攝影）發現肺部組織纖維化，這兩個案例病患血中銦濃度為290 μg/l和51 μg/l（男性常人平均值為0.1 μg/l），肺部有許多細微粒子，經掃瞄式電子顯微鏡X-Ray光譜分析，這些粒子為銦和錫氧化物，因此判定為吸入氧化銦錫導致間質性肺炎（interstitial pneumonia）。

在中國被報導銦中毒案例為一名任職于江蘇某生產手機液晶顯示熒幕的企業工人（28歲男性），工作內容為把金屬粉噴在液晶熒幕模板上。該名工人因開始出現嚴重咳嗽、氣喘和持續發燒等癥狀就醫，轉入大型醫院進行計算機斷層檢查，除發現其肺部布滿雪花狀的白色顆粒物，還發現其肺泡里有像牛奶般的乳白色液體。肺泡中的白色顆粒成分除氧化硅和氧化鋁外，還有重金屬元素「銦」，其血液中銦含量為常人的300倍，該員被診斷為銦中毒。

相關動物實驗研究發現銦、氧化銦錫及銦化合物會造成肺部及生殖系統傷害（1-10）。銦及其化合物（以銦計）PC-TWA: 0.1 mg/m3。PC-STEL:0.3mg/m3。

暴露途徑

在氧化銦錫濺鍍靶制造廠中，雖然表面研磨、切割作業是在密閉濕式系統中進行，但噴濺在機器周圍含有氧化銦錫的液滴和廢水會蒸干，導致氧化銦錫粉塵懸浮于空氣中，因而吸入人體導致肺部疾病。

銦同時因為其低熔點（156.6℃），被用于濺鍍靶與背板黏著時的銲料，在高溫下會有銦金屬燻煙產生，若無適當防護，會經呼吸進入人體。

氧化銦錫濺鍍靶回收廠和廢棄物回收廠（CRT和TFT-LCD熒幕含銦化合物），在粉碎氧化銦錫濺鍍靶或熒幕時，含銦化合物粉塵會經呼吸進入人體。

另外，TFT-LCD熒幕制造廠中使用氧化銦錫濺鍍靶多在密閉的機器中進行，人員直接暴露的可能性并不高，但是在進行預防性維護（PM），維護人員進行氧化銦錫濺鍍靶表面修整研磨作業（干式研磨）時，若無適當個人防護，可能暴露氧化銦錫粉塵（如圖4）。

圖4 氧化銦錫濺鍍靶表面修整研磨

作業防護及注意事項

粉碎、研磨、切割及濺鍍靶與背板接著區須有足夠及適當排氣設備。

粉碎、研磨、切割銦、氧化銦錫及銦化合物及及濺鍍靶與背板接著作業時，建議作業工人佩戴適當防塵口罩，以免吸入銦、氧化銦錫及銦化合物微粒和燻煙。

使用適當眼部及手部防護，以免粉塵微粒噴濺或接觸。

作業時應著工作服或防塵服，回家前應更換衣服，以免將粉塵帶回家，工作服或防塵服于工廠內清洗。

請勿于工作現場放置飲水及食物，以免污染而誤食，并避免在工作場所飲食或休息。